์ด์ ๋ค์
์ฌํ ๊ฐ ์ ์๋ ๊ฑฐ์ฃ ?
์ฌํ์ ์ข์ํ๋ ๋ถ๋ค์๊ฒ ํฌ์์์ด์์! ์ด์ ๋ถํฐ ๋ฉ๊ณ ๋ ๊ฐ๊น์ด ๋๋ผ ์ผ๋ณธ์ผ๋ก ํด์ธ์ฌํ์ ๋ ๋ ์ ์๊ฒ ๋์์ด์.
์ฝ๋ก๋19๋ก ์ธํด ์ค๋จ๋์๋ ๊นํฌ - ํ๋ค๋ค ํญ๊ณต ๋ ธ์ ์ด 29์ผ ๋ค์ ์ด๋ ธ์ด์. 2020๋ 3์์ ์ด ๋ ธ์ ์ด ์ค๋จ๋์์ผ๋๊น 2๋ 3๊ฐ์ ๋ง์ ์ด๋ฆฐ ๊ฑฐ์์. ๋ํํญ๊ณต๊ณผ ์์์๋ํญ๊ณต์ ์ฃผ 2ํ ์ดํ ์ฌ๊ฐ์ ๋ค์ด๊ฐ๊ณ ๊ตญ๋ด ์ ๋น์ฉ ํญ๊ณต์ฌ๋ค๋ ์ผ๋ณธ ๋ ธ์ ์ ๋๋ฆด ๊ณํ์ด์์.
SPC์ผ๋ฆฝ, 'ํฌ์ผ๋ชฌ๋นต' ์ดํ์
์ฌํด ์ค์ ์ ๋ง ๊ธ์ ์ !
ํ๋๊ธ์ตํฌ์๋ 30์ผ SPC์ผ๋ฆฝ์ ๋ํด ๋ณธ์ ์ ์ค์ ๊ฐ์ ์ด ์์๋๋ค๋ฉฐ ํฌ์์๊ฒฌ โ๋งค์โ์ ๋ชฉํ์ฃผ๊ฐ 10๋ง์์ ์ ์งํ์ด์. ์ด์ด ํ๋๊ธ์ตํฌ์๋ SPC์ผ๋ฆฝ์ ์ฌํด 2๋ถ๊ธฐ ๋งค์ถ์ก๊ณผ ์์ ์ด์ต์ ๊ฐ๊ฐ ์ ๋ ๋๊ธฐ ๋๋น 12.6%, 44.5% ์ฆ๊ฐํ 8052์ต์, 210์ต์์ผ๋ก ์์ํ์ด์.
๐์ ์ข : ๊ธฐํ ํํ์ ํ ์ ์กฐ์
๐์ฒญ์ฝ ๊ฐ๋ฅ ๊ธฐ๊ด : ํ๋๊ธ์ตํฌ์
๐๊ณต๋ชจ์ฃผ ์๋ : 2,400,000์ฃผ / ์ผ๋ฐ์ฒญ์ฝ์ : 600,000~720,000์ฃผ(25~30%)
๐๊ณต๋ชจ๊ฐ : 15,000~18,600์
๐๊ณต๋ชจ ์ผ์ : 2022.07.04~2022.07.05
์ฒซ๋ฒ์งธ๋ก ์ดํด๋ณผ ์ข ๋ชฉ์ ์์ฐฝ์ผ๋ฏธ์นผ์ด์์. ์์ฐฝ์ผ๋ฏธ์นผ์ ๋ฐ๋์ฒด, ๋์คํ๋ ์ด, ์นํ๊ฒฝ์๋์ง ์ฐ์ ์ ๊ณต๊ธํ๋ ํํ ์์ฌ๋ฅผ ๊ฐ๋ฐ ๋ฐ ์์ฐ์ ์ ๋ฌธ์ผ๋ก ํ๊ณ ์๋ ๊ธฐ์ ์ด์์. ๋น์ฌ์์๋ ๋ฐ๋์ฒด ์ ์กฐ์ ์ฌ์ฉ๋๋ i-Line Negative photoresist๋ฅผ ๊ตญ๋ด ์ต์ด๋ก ์์ฐ์ ์ฑ๊ณตํ์์ผ๋ฉฐ, ๊ธฐ์กด ์ ํ์ ์ ๊ทธ๋ ์ด๋ํ์ฌ DoF(Depth of Focus), resolution ๋ฑ ๊ฐ์ ๋ ์ ํ์ ๊ฐ๋ฐํ์ฌ ๊ธ๋ก๋ฒ ๋ฐ๋์ฒด ์ ์กฐ์ฌ์ ๊ณต๊ธํ๊ณ ์์ด์.
๐์ ์ข : ํน์ ๋ชฉ์ ์ฉ ๊ธฐ๊ณ ์ ์กฐ์
๐์ฒญ์ฝ ๊ฐ๋ฅ ๊ธฐ๊ด : NHํฌ์์ฆ๊ถ
๐๊ณต๋ชจ์ฃผ ์๋ : 3,000,000์ฃผ / ์ผ๋ฐ์ฒญ์ฝ์ : 750,000~900,000์ฃผ(25~30%)
๐๊ณต๋ชจ๊ฐ : 23,000~25,000์
๐๊ณต๋ชจ ์ผ์ : 2022.07.06~2022.07.07
๋๋ฒ์งธ๋ก ์ดํด๋ณผ ์ข ๋ชฉ์ ์์ด์นํผ์์คํผ์์. ์์ด์นํผ์์คํผ๋ ๊ณ ์์ด์ฒ๋ฆฌ์ฉ ๋ฐ๋์ฒด ์ฅ๋น์ ์กฐ๋ฅผ ์ฃผ์์ฌ์ ์ผ๋ก ์์ํ๊ณ ์๋ ๊ธฐ์ ์ด์์. ๋น์ฌ์ GENI-SYS ์ฅ๋น๋ ์ ์ธ๊ณ ๊ณ ์ ๊ด๋ จ๋ ์ธ์ฆ์ ๋ฐ๊ณ ๋ฉ์ด์ ธ ๊ณ ๊ฐ์ฌ์ ์์ฐ Fabrication์์ ๊ฐ๋์ค์ธ ์ ์ผํ ๊ณ ์ ์ด์ฒ๋ฆฌ ์ฅ์น๋ก, 28/32nm ์ดํ ์ ์ฉ๊ณต์ ์ ํ์์ ์ผ๋ก ๊ถ์ฅ๋จ์ ๋ฐ๋ผ ํฅํ ๊ธ๋ก๋ฒ ๋ฐ๋์ฒด ์ ์ฒด๋ค์ ์ง์์ ์ธ ๊ณต์ ๋ฏธ์ธํ๋ก ์ธํ ์ฃผ์ ์ํ์ ์ฒด๊ฐ ๋ ๊ฒ์ผ๋ก ์์๋๊ณ ์์ด์.
๋งค์ฃผ ๐ฅํ, ๐ฒ๋ชฉ ์์นจ๋ง๋ค ๋ฐฐ๋ฌ๋๋ ์ค๋ ์ฆ์์์ ์ํ๋ ํฐ!๐